产品中心
晶圆厚度检测设备，通过3D 影像，高速、多区域均匀采样，多重计算得到圆面各个区域晶圆厚度。
晶圆陶瓷载盘通过自制搬运机械臂自动上料、自制水循环系统 自动研磨清洗，实现对晶圆表面的清洁。
产品中心
晶圆厚度检测设备，通过3D 影像，高速、多区域均匀采样，多重计算得到圆面各个区域晶圆厚度。
晶圆陶瓷载盘通过自制搬运机械臂自动上料、自制水循环系统 自动研磨清洗，实现对晶圆表面的清洁。